激光干涉儀的基本原理及用途、激光有哪三個(gè)重要特點(diǎn)
激光干涉儀是主要對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行精密測(cè)量的一種精密測(cè)量的工具、激光干涉
儀一般采用激光來(lái)作為長(zhǎng)度的基準(zhǔn)、它廣泛的用于對(duì)數(shù)控設(shè)備、加工中心、三
次坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等等的位置精度、定位精度、重復(fù)定位精度、幾何精度、俯仰扭
擺角度、直線度、垂直度等一些精準(zhǔn)度進(jìn)行精密的測(cè)量。激光干涉儀一般都是
利用接收到的激光的明暗條紋的變化、然后再通過(guò)電子的細(xì)分、由此獲得距離
的細(xì)微跟準(zhǔn)確的變化。如果在兩束光相位都相同的情況下、光波會(huì)更加增強(qiáng)、
則表現(xiàn)為亮條紋,如果兩束光相位在相反的情況下、光波則會(huì)互相排斥、則
表現(xiàn)為暗條紋。
一般激光波長(zhǎng)相對(duì)比較穩(wěn)定、可以很容易的滿足精密測(cè)量的要求、激光波長(zhǎng)
也響度比較短、測(cè)量的精準(zhǔn)度會(huì)較高、同時(shí)激光還具有干涉的特點(diǎn)性能。
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