本文標(biāo)題："掃描式電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)原理"

發(fā)布者：YIYI ------ 分類: 技術(shù)文章 ------ 人瀏覽過(guò) -----時(shí)間：2014-3-15 19:10:58

掃描式電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)原理

掃描式電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)被分為四個(gè)部分
1，照明系統(tǒng)

2，成像電磁透鏡系統(tǒng)

3，樣品室，真空和電子系統(tǒng)

4，影像偵探記錄系統(tǒng)

照明系統(tǒng)被分為兩部分，一是電子槍，二是聚光鏡

電子槍就是發(fā)射電子束的電子源

聚光鏡，主要是將電子槍的束斑漸漸的變小，把從一開(kāi)始直徑為50毫米的束斑縮成一個(gè)只有
納米數(shù)的微小束斑，掃描式點(diǎn)在顯微鏡正常只有三個(gè)聚光鏡，前面兩個(gè)透鏡是強(qiáng)透鏡，專門
用來(lái)縮小束光斑的大小，后一個(gè)聚光鏡是弱透鏡，它的焦距比較長(zhǎng)，在第三個(gè)透鏡下放置
試樣能避免磁場(chǎng)對(duì)二次電子軌跡的影響。

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