本文標(biāo)題："透射式電子顯微鏡在環(huán)境控制下觀察研究晶體材料"

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透射式電子顯微鏡在環(huán)境控制下觀察研究晶體材料

                  透射式電子顯徽鏡(TEM)
    光學(xué)顯微鏡的極限分辨率在很多場(chǎng)合受到限制，在微電子學(xué)
方面尤為明顯。微小的電子器件需要了解更精細(xì)的細(xì)節(jié)，有時(shí)就
只有采用比光學(xué)顯微鏡分辨率更好的顯微鏡，透射式電子顯微鏡
(TEM)首先用于生物學(xué)，后來義逐漸用于冶金以及其它領(lǐng)域。
    透射式電子顯微鏡是一種很有用的儀器，具有兩種通用特性:
一是在高放大倍數(shù)下具有好的分辨率;另一是能產(chǎn)生電子衍射，這
種電子衍射能像識(shí)別元件一樣，觀察研究晶體材料。這兩種特性
在環(huán)境控制研究方而都是很重要的。
    基本原理
    透射式電子顯微鏡其放大倍數(shù)可達(dá)500-100000x
左右，并共有低至5埃的極限分辨率。除高分辨率外，這種顯微
鏡還其有很大的景深。在光學(xué)顯微鏡中大的景深取決于小的孔徑
數(shù)，而分辨率卻與波長(zhǎng)成反比。

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