樣品的大小元素在類似電子微探針工作的分析
冰樣制備 與透射式電子顯微鏡相比,掃描電子顯微鏡試樣制備比較簡(jiǎn)便。首先要考慮的是試樣必須接地,以防表而電荷積累、試樣通常用導(dǎo)電含銀糊狀沾合劑沽于支撐上。樣品上二非導(dǎo)電部分須敷上一層很薄的導(dǎo)電膜,也可以是碳、金或其它蒸發(fā)到全部表層的金屬.這種導(dǎo)電層應(yīng)薄到兒乎透明的程度,以免干擾圖像形成。這種樣品的制備并不需要做得很精巧,這也可算是此種方法的一個(gè)主要優(yōu)點(diǎn)。 日前,掃描電子顯微鏡與透射式電子顯微鏡作比較,在電子衍射能力上受到限制。元素分析只在類似電子微探針的工作方式下才有可能,但是,在靈敏度方面要損失一些。為了保持真空狀態(tài),樣品的大小就受到了限制,并且必須通過(guò)遙控進(jìn)行樣品的人工操作。此外,潮濕樣品在去水時(shí),將會(huì)污染真空系統(tǒng)。
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