對(duì)測(cè)量氣體粒徑小于0.3微米的兩種儀器評(píng)述 雖然顯微鏡檢臉產(chǎn)品或過(guò)濾面是測(cè)量粒子污染有效的方法,但是,如不采用自動(dòng)化,這些方法就既縈瑣,又浪費(fèi)時(shí)間。光故射粒子計(jì)數(shù)器的研制成功使瞬時(shí)測(cè)試成為可能,氣體的物質(zhì)粒子含量降到0.3微米,液體降到2微米。當(dāng)然,由這類(lèi)儀器所取得的表面潔凈度的資料是第二手的。 可以這樣假設(shè):如果產(chǎn)品只是在潔凈環(huán)境中暴蜷,那么,從該環(huán)境落到產(chǎn)品表面的粒子數(shù)為零。連續(xù)監(jiān)視產(chǎn)品周?chē)h(huán)境,對(duì)引起產(chǎn)品表面污染的環(huán)境潔凈度進(jìn)行瞬時(shí)識(shí)別。光散射粒子計(jì)數(shù)器可對(duì)長(zhǎng)時(shí)間特定位置作連續(xù)自動(dòng)監(jiān)視。所得數(shù)據(jù)的分析只是一項(xiàng)必要工作。由于光散射粒子監(jiān)視器很近要,并且應(yīng)用廣泛,所以將詳細(xì)地討論這類(lèi)設(shè)備。
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