本文標題：" 探討激光平面干涉儀在一些精密測量中的運用"

發(fā)布者：YIYI ------ 分類: 技術文章 ------ 人瀏覽過 -----時間：2014-9-16 10:10:3

 探討激光平面干涉儀在一些精密測量中的運用

一、激光平面干涉儀可以通過幾何精度進行檢測、可廣泛的用來檢

測線度、垂直度、俯仰跟偏擺、平面度、平行度等等

二、可以通過位置精度來檢測數(shù)控機床的床位精度、重復定位精度

、微量位移精度等等

比一般使用的方法節(jié)省了一大半的時間、為了防止手工計算跟手動

數(shù)控鍵而產生的一些誤差、可以采用被測軸上面的補償點數(shù)、可以

使機床達到有效的精度

三、數(shù)控轉臺分度精度的檢測和自動補償、它不僅可以對任意的角

度的位置、任意角度間隔進行全自動的測量、而且精度可以達到正

負1、它比原始用的自準直儀跟多面體的方法不但更節(jié)省了大量的

測量時間、而且還得到了完整的回轉軸的精度的曲線。

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