闡述目前采用半導(dǎo)體和薄膜制造的主要工序
精密產(chǎn)品的日常生產(chǎn)工作通常包括從原材料、零件加工、裝配、測試到后的成品檢驗等一系列工序。對于不同的精密產(chǎn)品,其體細(xì)節(jié)變化很大。但是,就產(chǎn)生和傳播大部分污染的制造設(shè)備和生產(chǎn)工序來說,對于多數(shù)(即使不是全部)精密工業(yè)卻帶有共同性。污染有“共同的”傳播物:工廠環(huán)境和職工、工廠用水和用氣、表而清洗設(shè)備和清洗工序、高純度化學(xué)制品和工藝排廢系統(tǒng)。因此,從精密工業(yè)取得控制污染共同傳播物的經(jīng)驗對于其他工業(yè)也都適用。 其余部分將闡述目前采用半導(dǎo)體和薄膜制造的主要工序,并分別說明日常生產(chǎn)程序;即原材料、加工工序、測試和成品檢驗。這樣,就能由此推及到其他產(chǎn)品,特別是對各種污染比較敏感的產(chǎn)品。
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