測試和檢驗對芯片或管殼做機械試驗和可靠性試驗
結的密封為了減小器件對工作環(huán)境的敏感性,貝爾(13011)系統(tǒng)的硅集成電路一律要經(jīng)過結的密封處理。結密封是由氮化硅層和貴金屬接點系統(tǒng)構成的,可防止環(huán)境雜質(zhì)通過氧化硅擴散到硅表而而造成芯片電氣性能的下降。氮化硅能阻止鈉離子和其他已知的污染媒介物的滲透。但是,氮化硅層必須完整,不能有針孔和裂縫,因此,為了保證結密封的質(zhì)敏,對氮化硅淀積系統(tǒng)規(guī)定了嚴格的檢驗要求。 元件互連芯片內(nèi)各個電路元件需用很薄的金屬層來連接。貝爾系統(tǒng)的硅集成電路,采用金泊作為主要的電路引線,而底層則采用鉑和欽以附肴在氮化硅層上。那些制造廠不管是否具有真空密封設備,根據(jù)可靠性的要求來考慮是否采用鋁接點。金鉑接點和氮化硅組成了目前可靠的表面密封。 測試和檢驗 電路在完成金屬化之后,需通過試驗才能保證符合電氣性能要求。除了基本的電氣試驗外,對芯片或管殼還需做機械試驗和可靠性試驗,試驗合格的芯片拿去封裝,這樣能保證成品符合規(guī)定的壽命指標。通常,這些試驗都帶有破壞性,所以僅在型式試驗中進行。梁式引線器件的典型試驗項目是硅的外形尺寸檢查、粘結力、抗彎力和簧片強度試驗。溫度和功率老化則主要用作可靠性試驗。
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