離子用質(zhì)譜儀在不同工作模式中進(jìn)行分析
在試樣被檢視區(qū)產(chǎn)生的離子具有原物質(zhì)的成份,這些離子用質(zhì)譜儀按質(zhì)荷比分類,然后在不同工作模式中進(jìn)行分析: 1.成像顯示 在被檢視區(qū)可獲得分辨率約為2微米的圖像,圖像的亮度是所要觀察元素、.同位索發(fā)出信號(hào)強(qiáng)度的函數(shù)。圖像中各區(qū)域的亮度反映所選定觀察區(qū)內(nèi)某種元素的分布情況(參看圖4-12), 2.質(zhì)量分析 從試樣選出的離子按質(zhì)荷比用雙聚焦質(zhì)譜儀分類。質(zhì)譜是由質(zhì)嫩范圍和控制信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行掃描而繪出的。 3.縱深剖面圖 一方面用檢測(cè)器監(jiān)視某一同位素,另一方面腐蝕試樣,從而獲得某一元素濃度的縱深剖面圖。該圖是以檢測(cè)器檢出作為腐蝕深度的函數(shù)(同時(shí)也是時(shí)間函數(shù))而繪出的。 在離子質(zhì)譜儀的制造中有兩種不同的設(shè)計(jì)方案:一種方案是離子同時(shí)轟擊試樣大面積上的所有點(diǎn),然后采用一定的方法分析被轟擊面上較小區(qū)域的離子。在這種型式的儀器中,就其形成的整個(gè)圖像而言,它和電子顯微鏡類似,不妨把它看作離子顯微鏡, 第二種方案是把它作成類似于電子微探針式的,可以稱之為離子微探針。這種儀器所產(chǎn)生的圖像來(lái)自極細(xì)的聚焦離子束所產(chǎn)生的信號(hào),而該離子束從一定的時(shí)間間隔在所選定的區(qū)域內(nèi)形成一個(gè)掃描光柵。
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